Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Ηλεκτρονικό)
![]()
| Τίτλος | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
| Συντομογραφία | J. vac. sci. technol., B, Microelectron. nanometer struct. process. meas. phenom. (Online) |
| ISSN | 1520-8567 |
| Λανθασμένο: 1071-1023 |
| Έτη έκδοσης | 1991-2009 |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| Συνεχίζει | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena (Online) [ISSN 2327-9877] |
| Συνεχίζεται από | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Online) [ISSN 2166-2754] |
| Άλλη έκδοση σε διαφορετικό μέσο | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures [ISSN 1071-1023] |
| Ηλεκτρονική Τοποθεσία | http://pubs.aip.org/avs/jvb/i(...) |
| Τίτλος | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
| Τίτλος κλειδί | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Online) |
| Συντομογραφία | J. vac. sci. technol., B, Microelectron. nanometer struct. process. meas. phenom. (Online) |
| ISSN | 1520-8567 |
| Λανθασμένο: 1071-1023 |
| Έτη έκδοσης | 1991-2009 |
| Δημοσίευση | Woodbury, N.Y. : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics |
| Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | 2nd ser., v. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)- |
| Ceased in 2009? |
| Πνευματική υπευθυνότητα | American Vacuum Society. |
| American Institute of Physics. |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| Συνεχίζει | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena (Online) [ISSN 2327-9877] |
| Συνεχίζεται από | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Online) [ISSN 2166-2754] |
| Άλλη έκδοση σε διαφορετικό μέσο | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures [ISSN 1071-1023] |
| DDC Ταξινόμηση | 621 (13) |
| Ηλεκτρονική Τοποθεσία | http://pubs.aip.org/avs/jvb/i(...) |
