Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
![]()
| Τίτλος | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : |
| Άλλος τίτλος | JVST B |
| Τίτλος κλειδί | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
| Συντομογραφία | J. vac. sci. technol., B, Microelectron. nanometer struct. |
| Τμήμα τίτλου | Microelectronics and nanometer structures |
| ISSN | 1071-1023 |
| Λανθασμένο: 0734-211X |
| Έτη έκδοσης | 1991-2010 |
| Δημοσίευση | New York : Published for the Society by the American Institute of Physics c1991-c2010. |
| Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | 2nd ser., v. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., v. 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010). |
| Πνευματική υπευθυνότητα | American Vacuum Society. |
| American Institute of Physics. |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| Συνεχίζει | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena [ISSN 0734-211X] |
| Συνεχίζεται από | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Print) [ISSN 2166-2746] |
| Άλλη έκδοση σε διαφορετικό μέσο | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Online) [ISSN 1520-8567] |
| DDC Ταξινόμηση | 621.381/05 (20) |
| Ηλεκτρονική Τοποθεσία | http://ieeexplore.ieee.org/servlet/o(...) |
| http://scitation.aip.org |
