Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
![]()
| Τίτλος | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena : |
| Τίτλος κλειδί | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena |
| Συντομογραφία | J. vac. sci. technol., B Microelectron. process. phenom. |
| Τμήμα τίτλου | Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena |
| Microelectronics processing and phenomena |
| ISSN | 0734-211X |
| Έτη έκδοσης | 1983-1990 |
| Δημοσίευση | New York, N.Y. : Published for the Society by the American Institute of Physics 1983-c1990. |
| Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | 2nd ser., v. 1, no. 1 (Jan.-Mar. 1983)-2nd ser., v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). |
| Πνευματική υπευθυνότητα | American Vacuum Society. |
| American Institute of Physics. |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| Συνεχίζει εν μέρει | Journal of vacuum science & technology [ISSN 0022-5355] |
| Συνεχίζεται από | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures [ISSN 1071-1023] |
| Άλλη έκδοση σε διαφορετικό μέσο | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena (Online) |
| DDC Ταξινόμηση | 621.5/5/05 (19) |
| Ηλεκτρονική Τοποθεσία | http://scitation.aip.org |
| http://ieeexplore.ieee.org/servlet/o(...) |
