Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Ηλεκτρονικό)
| Τίτλος | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics |
| Τίτλος κλειδί | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Online) |
| Συντομογραφία | J. vac. sci. technol., B, Nanotechnol. microelectron. (Online) |
| ISSN | 2166-2754 |
| Έτη έκδοσης | 2010- |
| Δημοσίευση | New York, NY : AVS through the American Institute of Physics |
| Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | Began with 2nd ser., v. 28, no. 2 (Mar./Apr. 2010). |
| Πνευματική υπευθυνότητα | American Vacuum Society. |
| American Institute of Physics. |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| Συνεχίζει | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Online) [ISSN 1520-8567] |
| Άλλη έκδοση σε διαφορετικό μέσο | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Print) [ISSN 2166-2746] |
| DDC Ταξινόμηση | 621 (14) |
| Ηλεκτρονική Τοποθεσία | http://scitation.aip.org |
| http://ieeexplore.ieee.org/servlet/o(...) |
