Microlithography world
| Τίτλος | Microlithography world. |
| Συντομογραφία | Microlithogr. world |
| ISSN | 1074-407X |
| Έτη έκδοσης | 1992-2008 |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| Τίτλος | Microlithography world. |
| Τίτλος κλειδί | Microlithography world |
| Συντομογραφία | Microlithogr. world |
| ISSN | 1074-407X |
| Έτη έκδοσης | 1992-2008 |
| Δημοσίευση | Port Washington, N.Y. : Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE [1992]-2008. |
| Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | Vol. 1, no. 1 (Mar./Apr. 1992)- |
| Ceased with v. 17, no. 4 (Nov. 2008). | |
| Πνευματική υπευθυνότητα | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers. |
| Γλώσσα | Αγγλική |
| Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
| DDC Ταξινόμηση | 621.3815/31 (20) |
