Microlithography world
Τίτλος | Microlithography world. |
Συντομογραφία | Microlithogr. world |
ISSN | 1074-407X |
Έτη έκδοσης | 1992-2008 |
Γλώσσα | Αγγλική |
Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
Τίτλος | Microlithography world. |
Τίτλος κλειδί | Microlithography world |
Συντομογραφία | Microlithogr. world |
ISSN | 1074-407X |
Έτη έκδοσης | 1992-2008 |
Δημοσίευση | Port Washington, N.Y. : Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE [1992]-2008. |
Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | Vol. 1, no. 1 (Mar./Apr. 1992)- |
Ceased with v. 17, no. 4 (Nov. 2008). | |
Πνευματική υπευθυνότητα | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers. |
Γλώσσα | Αγγλική |
Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
DDC Ταξινόμηση | 621.3815/31 (20) |