Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
Τίτλος | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : |
Άλλος τίτλος | JVST B |
Τίτλος κλειδί | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures |
Συντομογραφία | J. vac. sci. technol., B, Microelectron. nanometer struct. |
Τμήμα τίτλου | Microelectronics and nanometer structures |
ISSN | 1071-1023 |
| Λανθασμένο: 0734-211X |
Έτη έκδοσης | 1991-2010 |
Δημοσίευση | New York : Published for the Society by the American Institute of Physics c1991-c2010. |
Αρίθμηση περιοδικής έκδοσης | 2nd ser., v. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., v. 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010). |
Πνευματική υπευθυνότητα | American Vacuum Society. |
| American Institute of Physics. |
Γλώσσα | Αγγλική |
Χώρα | Ηνωμένες Πολιτείες Αμερικής |
Συνεχίζει | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena [ISSN 0734-211X] |
Συνεχίζεται από | Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics (Print) [ISSN 2166-2746] |
Άλλη έκδοση σε διαφορετικό μέσο | Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Online) [ISSN 1520-8567] |
DDC Ταξινόμηση | 621.381/05 (20) |
Ηλεκτρονική Τοποθεσία | http://ieeexplore.ieee.org/servlet/o(...) |
| http://scitation.aip.org |